Với các đặc điểm của lớp phủ quang học hồng ngoại như thành phần phức tạp, độ dày,
thời gian làm việc dài và độ chính xác kiểm soát cao, công ty đã phát triển một thiết bị đặc biệt
phù hợp cho lớp phủ chống phản xạ hồng ngoại, lớp phủ quang phổ hồng ngoại, lớp phủ bộ lọc hồng ngoại và
các thành phần màng quang học hồng ngoại khác.
- Độ chân không tối đa: 8×10-5 Pa (12 giờ)
- Thời gian phục hồi chân không: từ áp suất khí quyển đến 4×10-3 Pa≤8 phút
- Áp dụng bơm phân tử 400 + bơm kết nối trực tiếp + bơm Roots
- Chương trình chân không có hai chế độ: tự động và thủ công. Điều khiển liên động PLC, trạng thái hiển thị trên máy tính và điều khiển thông qua máy tính
- Xoay vật liệu: điều khiển tốc độ biến tần, 0-30 vòng/phút
- Điều khiển chống hơi: điều khiển dòng điện không đổi thông qua bộ quay sáu vị trí công suất cao
- Nung vật liệu: điều khiển nhiệt độ ba điểm, được trang bị bộ điều khiển nhiệt độ kỹ thuật số + bộ điều chỉnh nguồn kỹ thuật số.
- Một súng điện tử loại E, công suất súng 10KW; điện áp cao: 0-10KV có thể điều chỉnh; dòng điện chùm: 0-1A có thể điều chỉnh; chén nung có bộ nhớ tự động các mẫu đã quét
- Bộ điều khiển tinh thể loại XTC/3 + đầu dò điều khiển tinh thể 12 bit từ INFICON của Hoa Kỳ, với kiểm soát quy trình
- Nguồn ion Φ160MM (Bắc Kinh), năng lượng chùm có thể được thiết lập bằng máy tính
- Hệ thống điều khiển: màn hình cảm ứng 15 inch hoặc máy tính công nghiệp làm máy tính chủ và PLC làm máy tính phụ để thực hiện hút chân không tự động, nung nhiệt độ không đổi, tự động
kiểm soát nóng chảy trước của súng điện tử chống bay hơi, kiểm soát lớp phủ và theo dõi độ dày màng, điều khiển tự động nguồn ion và làm mát nung, tự động lấy hàng, tất cả
ghi lại thông số, đảm bảo kiểm soát lớp phủ hoàn toàn tự động chỉ bằng một cú nhấp chuột
- Khi bật chế độ lấy hàng, một thiết bị xả khí tự động của cửa buồng chân không sẽ được kích hoạt để loại bỏ mùi trong phòng sạch, có thể bảo vệ hiệu quả sự an toàn của người vận hành