-Dampfbeständige Steuerung: Konstantstromregelung über einen Hochleistungs-Sechs-Positionen-Drehregler
-Werkstückausbacken: Drei-Punkt-Temperaturregelung, ausgestattet mit digitalem Temperaturregler + digitalem Leistungsregler.
-Eine E-Typ-Elektronenkanone, Kanonenleistung 10 kW; Hochspannung: 0-10 kV einstellbar; Strahlstrom: 0-1 A einstellbar; Tiegel mit automatischer Speicherung von gescannten Mustern
-XTC/3-Typ-Kristallcontroller + 12-Bit-Kristallkontrollsonde von INFICON aus den USA, mit Prozesskontrolle
-Φ160MM Ionenquelle (Peking), Strahlenergie kann vom Computer eingestellt werden
-Steuerungssystem: 15-Zoll-Touchscreen oder Industriecomputer als Host-Computer und SPS als Slave-Computer zur Realisierung von automatischem Evakuieren, konstanter Temperatur, automatischem
Vorschmelzsteuerung der verdampfungsbeständigen Elektronenkanone, Beschichtungssteuerung und Filmdickenüberwachung, automatische Steuerung der Ionenquelle und Ausbacken, Abkühlen, automatische Aufnahme, alle
Parameteraufzeichnung, die eine vollautomatische Beschichtungssteuerung per Mausklick gewährleistet
-Wenn der Aufnahmemodus aktiviert ist, wird eine automatische Abluftvorrichtung der Vakuumkammertür aktiviert, um den Geruch im Reinraum zu entfernen, was die Sicherheit der Bediener effektiv schützen kann.