| パラメータ項目 | CA1000-H | CA1000 | CA300 | CA200 |
|---|---|---|---|---|
| 軸と半径流出 | <0.08μm | <0.08μm | <0.08μm | <0.08μm |
| 空気消費量 | 80L/分 | 80L/分 | 80L/分 | 80L/分 |
| 測定範囲 | 0°360° | 0°360° | 0°360° | 0°360° |
| 焦点距離 | 300mm | 300mm | 300mm | 300mm |
| 効果的な透明アペルチャー | 32mm | 32mm | 32mm | 32mm |
| ローータリーステージ直径 | 200mm | 200mm | 200mm | 200mm |
| 決議 | 0.041" | 0.041" | 0.041" | 0.041" |
| 単一の測定精度 | ±0.5" | ±1" | ±3" | ±5" |
| 多時間平均精度 | ±0.3" | ±0.5" | ±2" | ±3" |
| 繰り返し可能性 | ±0.1" | ±0.3" | ±1" | ±1.5" |
| 最大負荷容量 | 50kg | 50kg | 50kg | 50kg |
| 運転モード | 手動/電動 | 手動/電動 | 手動/電動 | 手動/電動 |